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      硅片類

      英文名:
      Cas號:
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      別 名
      Cas號
      M D L
      分子式
      分子量
      產品參數 生長方式/Growth

      CZ,MCZ,FZ

      等級/Grade

      Prime,Test,Dummy,etc.

      直徑/Diameter

      4inch /100mm (1 inch – 12 inch / 25.4mm – 300mm)

      厚度/Thickness

      50-5000um,etc.

      表面狀態/Finish

      As cut,lapped,eached,SSP DSP,etc.

      晶向/orientation

      (100)(111)(110)(211)(311)(511)(531),etc.

      晶向偏角/Off cut

      up to 7deg

      摻雜類型/Type/Dopant

      P/B,N/Phos,N/Sb,N/As,Intrinsic

      電阻率/Resistivity

      CZ/MCZ: From 0.001 to 100 ohm.cm


      FZ: From 100 to >20000 ohm.cm

      薄膜/Thin films

      PVD:Al、Ni、Cu、Ti、Ag、Au、Pt、Fe、Mo,etc. Coating thickness: up to 3000nm±5%


      LPCVD/PECVD:Oxide、Nitride、TEOS、LTO、SIPOS、SiC、POLY、etc. Coatingthickness: up to 3000nm±3%


      Thermal oxidation:Oxide Coatingthickness: 5nm to 10000nm±1%


      Silicon epitaxial wafers and epitaxial services(SOS、GOI、SOI、GaN、GaAs、InP,etc.)

      加工服務/Processes

      定制單雙拋、超薄、超厚、超平硅片、切割不同尺寸、不同形狀,打孔硅片;/SSP,DSP,ultra thin,ultra flat,etc.


      打孔、掏圓、切割、減薄/Punch、Downsizing、dicing、back grinding,etc.


      微納加工/MEMS
      性狀 1-12英寸直拉、區熔單晶硅棒、單雙拋硅片、高純度(11N)超高電阻率本征硅片、切割研磨硅片、超薄超厚硅片、無衍射硅片、紅外透過硅片、太赫茲用硅片、特殊晶向和形狀、打孔硅片、SEM、鍍膜及外延硅片等各種硅材料;
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